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高精度電鏡光闌 | 探索微觀世界的“視界閘門(mén)”

在透射電子顯微鏡（TEM）與掃描電子顯微鏡（SEM）的精密光路系統(tǒng)中，光闌（Apertures）承擔(dān)著限定束流、減少相差及提升成像對(duì)比度的核心職能。作為電子束必經(jīng)的“咽喉”，光闌的制造精度直接定義了顯微鏡的最高分辨極限。

TEM用條狀光闌

極微之境

光闌產(chǎn)品的核心挑戰(zhàn)

高性能電鏡光闌（如常見(jiàn)的條狀光闌或單孔光闌）通常采用鉬（Mo）、鉑（Pt）或鉭（Ta）等耐高溫、電子屏蔽性強(qiáng)的金屬材料。其產(chǎn)品特性包含：

微米級(jí)孔徑控制：常用孔徑范圍在10μm至1000μm之間，要求極高的尺寸公差，最高要求可達(dá)1μm。

抗散射錐孔設(shè)計(jì)：為了減少電子束邊緣散射，微孔往往設(shè)計(jì)有特定的角度開(kāi)口，常規(guī)的有14°，53°，90°開(kāi)口錐孔，這對(duì)加工的幾何形狀有著嚴(yán)苛要求。

邊緣極致光潔：孔壁若存在細(xì)微毛刺或氧化層，會(huì)引起電子束充電效應(yīng)（Charging），導(dǎo)致成像漂移或畸變，因此對(duì)孔壁的邊緣的光潔度也有極高的要求。

岳乾激光

飛秒技術(shù)重新定義微加工標(biāo)準(zhǔn)

針對(duì)科研及工業(yè)級(jí)電鏡光闌的國(guó)產(chǎn)化與性能超越需求，上海岳乾激光科技有限公司利用飛秒激光（Femtosecond Laser）微加工技術(shù)，為市場(chǎng)提供了全新的解決方案。

真正的“冷加工”方案：飛秒激光利用超短脈沖寬度，在熱量傳導(dǎo)至材料基體前即完成消融。這徹底解決了材料在切割或鉆孔時(shí)常見(jiàn)的邊緣發(fā)黑、氧化等熱損傷難題。

三維旋切成型：借助精密光學(xué)旋切系統(tǒng)，岳乾激光不僅能加工出一致性極高的微米級(jí)通孔，更能在微觀尺度下精準(zhǔn)復(fù)現(xiàn)各類(lèi)形貌的抗散射錐孔，確保孔壁圓潤(rùn)、無(wú)毛刺。

全材料適配性：無(wú)論是高硬度的鉬、貴金屬鉑，還是各類(lèi)特種合金，陶瓷、非金屬等飛秒激光均能實(shí)現(xiàn)無(wú)應(yīng)力切削，確保微米級(jí)排列的條狀光闌在大面積加工后依然保持極致的平整度。

岳乾激光致力于將飛秒微加工技術(shù)

應(yīng)用于精密光學(xué)元件，

以“中國(guó)精度”打破高端耗材的進(jìn)口依賴(lài)，

為您的科研與生產(chǎn)提供

更穩(wěn)定、更清晰的微觀成像保障。

岳乾激光加工的300微米和70微米的小孔